Kaplama odası, fotolitografi ile şekillendirmek istediğimiz metalin (sputter ile) kaplandığı ve fotorezistin (plazma sistemi ile) temizlendiği kısımdır. Malzeme, Lift-Off veya aşındırma yöntemiyle şekillendirilir. Lift-Off yönteminde fotorezisti kaldırmak için Aseton, aşındırma yönteminde ise plazma sistemi kullanılır.

Vaksis Angora Saçtırma Sistemi

Birçok fiziksel buharlaştırma yönteminden biri olan saçtırma yöntemiyle bakır, krom, nikel, silicon, silikondioksit, titanium, tantalum gibi targetlar kullanılarak yüzey kaplama yapılmaktadır.

Teknik Özellikler

Taban Basınç: < 5.10^-7Torr

Örnek (wafer) boyutu: 4” çap

Örnek Biası: RF veya DC

Örnek Isıtma: 500°C

Örnek Soğutma: Su soğutması

Örnek Döndürme: 1-30 rpm

Hedef Sayısı: 2” lik 4 adet

Kontrol: Bilgisayardan otomatik kontrol

Sorumlu Mühendis

Mehmet Yumak (mehmetyumak0@gmail.com)

Nordson March AP-300 Plazma Sistemi

AP-300 Plazma Sistemi, plazma temizliği, yüzey aktivasyonu veya yapışmayı arttırma gibi geniş çaplı uygulamalar için uygun bir cihazdır. Plazma sistemi içerisine oksijen gazı verilerek oksijen plazma, argon gazı verilerek de argon plazma oluşturulabilmektedir.

Teknik Özellikler

Boyutlar: W x D x H – 569 x 869 x 704 mm

Net Ağırlık: 221 kg (488 lbs)

Oda Boyutları: 267 x 465 x 267 mm

Hacim: 33.1 litre

RF Güç: 300 W

Frekans: 13.56 MHz

Dokunmatik ekran arayüzü ile PLC kontrolü

Sorumlu Mühendis

Mehmet Yumak (mehmetyumak0@gmail.com)