Kaplama Odası
Kaplama odası, fotolitografi ile şekillendirmek istediğimiz metalin (sputter ile) kaplandığı ve fotorezistin (plazma sistemi ile) temizlendiği kısımdır. Malzeme, Lift-Off veya aşındırma yöntemiyle şekillendirilir. Lift-Off yönteminde fotorezisti kaldırmak için Aseton, aşındırma yönteminde ise plazma sistemi kullanılır.
Vaksis Angora Saçtırma Sistemi
Birçok fiziksel buharlaştırma yönteminden biri olan saçtırma yöntemiyle bakır, krom, nikel, silicon, silikondioksit, titanium, tantalum gibi targetlar kullanılarak yüzey kaplama yapılmaktadır.
Teknik Özellikler
Taban Basınç: < 5.10-7Torr
Örnek (wafer) boyutu: 4” çap
Örnek Biası: RF veya DC
Örnek Isıtma: 500°C
Örnek Soğutma: Su soğutması
Örnek Döndürme: 1-30 rpm
Hedef Sayısı: 2” lik 4 adet
Kontrol: Bilgisayardan otomatik kontrol
Sorumlu Mühendis
Mehmet Yumak (mehmetyumak0@gmail.com)
Nordson March AP-300 Plazma Sistemi
AP-300 Plazma Sistemi, plazma temizliği, yüzey aktivasyonu veya yapışmayı arttırma gibi geniş çaplı uygulamalar için uygun bir cihazdır. Plazma sistemi içerisine oksijen gazı verilerek oksijen plazma, argon gazı verilerek de argon plazma oluşturulabilmektedir.
Teknik Özellikler
Boyutlar: W x D x H – 569 x 869 x 704 mm
Net Ağırlık: 221 kg (488 lbs)
Oda Boyutları: 267 x 465 x 267 mm
Hacim: 33.1 litre
RF Güç: 300 W
Frekans: 13.56 MHz
Dokunmatik ekran arayüzü ile PLC kontrolü
Sorumlu Mühendis
Mehmet Yumak (mehmetyumak0@gmail.com)