Boğaziçi Üniversitesi Biyomedikal Mühendisliği Enstitüsü Temiz Oda

BME Temizoda, Boğaziçi Üniversitesi Yaşam Bilimleri ve Teknolojileri Uygulama ve Araştırma Merkezi bünyesinde, sağlık alanında giderek artan oranda kullanılan insan vücuduna giren ve/veya yerleştirilen mikrosistem bazlı tıbbi cihazların, klinik kalitede prototiplerinin üretilmesi konusunda çalışmaların yapılabilmesi amacıyla kurulmuştur. 

Daha fazla bilgi için tıklayın

Fotolitografi

Fotolitografi, önceden hazırlanmış bir maske kullanarak silikon devre levhası (wafer) üzerinde kaplı olan fotorezistin şekillendirilmesi işlemidir. Fotorezistin ışık gören kısımlarının developer’da çözünüp yok olması pozitif fotorezist kullanarak, tersi ise negative resist kullanarak sağlanmaktadır. Wafer’ın fotorezist ile homojen bir şekilde kaplanması ise spinner kullanılarak gerçekleştirilir.

Kaplama odası, fotolitografi ile şekillendirmek istediğimiz metalin (sputter ile) kaplandığı ve fotorezistin (plazma sistemi ile) temizlendiği kısımdır. Malzeme, Lift-Off veya aşındırma yöntemiyle şekillendirilir. Lift-Off yönteminde fotorezisti kaldırmak için Aseton, aşındırma yönteminde ise plazma sistemi kullanılır.

Daha fazla bilgi için tıklayın

Metal İşleme Odası

Yaklaşık 40 m2 alana sahip bu bölümde lazer ile metal kesimi ve üç boyutlu printer ile prototipleme yapılabilmektedir.

Daha fazla bilgi için tıklayın